Advances in resist technology and processing XXI P. 1 - 23-24 February 2004, Santa Clara, California, USA
- Författare
- (John L. Sturtevant, chair/editor)
- Genre
- Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Cop. 2004 | USA | 632 sidor. | 0-8194-5289-0 | |